Scribe View  Narrow Line(SV5P)
〜プローバー・アプリケーション用OCRイルミネーター・システム〜
        
明/暗視証明ならびにLEDの4種類の照明準備
ハード/ソフト・マークに対応する16段階のプログラマブル照度調整幅
Scribe Readソフトウェア専用の開発
             
  
              
・ScribeViewファミリーは半導体製造用シリコンウェハ上にマーキングされた認識用IDの読取で使用するためにデ
 ザインされたCCDカメラ付イルミネーター・システムです。このScribeView5Pは、プローバー装置のような取付ス
 ペースに制約があるアプリケーションで使用できるようコンパクトにデザインされています。
        
・本製品は4種類の照明モードを持ち、それぞれ16段階の照明設定が可能です。これら照明の配置は、これまで認
 識が困難であったソフト・マーキングIDの読取性能を向上させるために特にデザインされており、特許を取得して
 おります。照明モード選択や照度調整は、簡単な手動操作またはシリアル・インターフェースを用いた自動操作に
 よって行われています。また本製品は、様々なプロセス状況の変化に対応するよう、最良の照明状況を解析し、
 これを自動的にフィードバックしてアップデートする機能を持っています。
  
・コンパクトなワンピース・ボディーには照明機能以外にもCCDカメラが取り付けられており、倍率やカメラ仕様はユ
 ーザー各自のアプリケーションに合わせて指定することが可能です。
  
・これらの高い機能性により、マーキング状態を問わず、半導体製造工程のどの時点においても認識用IDをはっき
 りと浮き上がらせて、認識させることが可能となりました。現在、ScribeViewイルミネーターは、最も高い読取性能
 を提供できる優れたイルミネーター・システムと言えます。
           
・ScribeViewシステムは、ScribeReadソフトウェアと共にご使用いただくよう開発されています。
・ScribeReadソフトウェアは、他社の文字認識システムで読取不可能な認識IDを読み込むことが可能な非常にパワ
 フルな認識アルゴリズムを持っており、ScribeViewシステムと共にご使用いただくことにより、業界最高のID読取
 率を獲得、ウエハ認識ID読取に関する全ての問題を解消いたします。
  
照明仕様
・ライト・タイプ:LEDならびに白色燈、ライト・モード:2種類、白色燈:明視野/暗視野、LED:ナロー/ワイド・アングル
(暗視野)
・照明レベル:256(16Grouping)、半導体前工程アプリケーションに対応する”ブルー・ブロッカー”仕様
 (Blue-Blocker)、ランプ寿命:20万時間以上
    
インターフェース仕様
・コントロール:RS232またはアナログ、コネクター:シングルHD15、カメラ:スタンダードRS-170
・1”C-マウント、ソフトウェア:Windows用、ScribeReadソフトウェア(Ver.4.3以降)
  
電気仕様
・電源仕様:12VDC、1.5(MAX) ・コネクター:専用コネクター付属・ケーブル長さ:18.3ならびに5m(6、12ならびに15フィート)
        
メカニカル仕様
・寸法:185x91x51mm(7.3x3.6x2inch)   ・マウント用ネジ、サイズ:1/4-20インチネジ穴(4箇所)
・消費電力:15W(最大)、重量:566.9g(20oz)、   ・ワーキング・ディスタンス:25.4mm(1inch)
・材質:アルミニウム(黒色アルマイト、シール仕上げ)
    
ナロー・ラインScribe View視野
〜倍率仕様-視野〜
     
視野倍率 0.146 0.26 0.4
レンズ焦点距離 35mm 50mm 75mm
エクステンション・チューブ なし 10mm 25mm
CCDフォーマット ウェハ上での視野サイズ(mm)
1/3"(3.6x4.8mm) 6.35x32 6.35x19 6.35x12
1/2"(4.8x6.4mm) 否推奨 6.35x25 6.35x16
  
ナロー・ラインScribeView解像度
〜倍率仕様-Pixel/mm〜
  
視野倍率 0.146 0.26 0.4
レンズ焦点距離 35mm 50mm 75mm
エクステンション・チューブ なし なし 75mm
CCDフォーマット ウェハ上での視野サイズ(mm)
1/3"(7.4μmPixel) 20 34 54
1/2"(10μmPixel) 否推奨 25 40
2/3"(13μmPixel) 否推奨 19 31